《微細加工技術》自1983年創刊，國內刊號為43-1140/TN，本刊積極探索、勇于創新，欄目設置及內容節奏經過編排與改進，受到越來越多的讀者喜愛。
雜志簡介：《微細加工技術》雜志經新聞出版總署批準，自1983年創刊，國內刊號為43-1140/TN，是一本綜合性較強的電子期刊。該刊是一份雙月刊，致力于發表電子領域的高質量原創研究成果、綜述及快報。主要欄目：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術
雜志簡介：《微細加工技術》雜志經新聞出版總署批準，自1983年創刊，國內刊號為43-1140/TN，是一本綜合性較強的電子期刊。該刊是一份雙月刊，致力于發表電子領域的高質量原創研究成果、綜述及快報。主要欄目：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術
《微細加工技術》自1983年創刊，國內刊號為43-1140/TN，本刊積極探索、勇于創新，欄目設置及內容節奏經過編排與改進，受到越來越多的讀者喜愛。
《微細加工技術》雜志學者發表主要的研究主題主要有以下內容：
（一）微機電系統；MEMS；微機械；形狀記憶合金；微驅動器
（二）微機電系統；MEMS；微機械；微機電系統技術；電磁驅動
（三）微機電系統；MEMS；微機電系統技術；雙穩態；微加工
（四）電極；MEMS；微機電系統；壓電；微針
（五）電子束；電子束光刻；微機電系統；抗蝕劑；聚合酶鏈式反應
（六）電子束曝光機；聚焦離子束；液態金屬離子源；電子束曝光；圖形發生器
（七）光刻；相移掩模；光刻系統；干涉光刻；光刻技術
（八）光刻分辨力；投影光刻物鏡；原子束；光刻；光子晶體
（九）碳納米管；形狀記憶合金；微驅動器；納米；圖形化
（十）電子束光刻；電子束曝光；電子束直寫；抗蝕劑；電子束
1、本刊恕不退稿。凡投稿三個月內未接到任何采用通知者可改投他刊。
2、正文的層次標題應簡短明了，以15字為限，不用標點符號，其層次的劃分及編號一律使用阿拉伯數字分級編號法。
3、著錄的參考文獻應準確無誤，其內容及順序是：專著——序號、著（譯）者、書名、卷次、出版社、出版年；期刊一一序號、作者、篇名、刊名、年份、卷期；報紙——序號、作者、篇名、報紙名、年月日、版頁。
4、關鍵詞一般3~8個，要規范，必須是名詞或名詞性詞組，所有關鍵詞要便于檢索和索引。
5、文末一定要標明作者單位及聯系地址、郵編、電話、傳真、電子郵箱、QQ等，方便雜志出刊后寄送。
引證文獻：又稱來源文獻，是指引用了某篇文章的文獻，是對本文研究工作的繼續、應用、發展或評價。這種引用關系表明了研究的去向，經過驗證，引證文獻數等于該文獻的被引次數。引證文獻是學術論著撰寫中不可或缺的組成部分，也是衡量學術著述影響大小的重要因素。
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